2022年7月22日,“创芯驱动,碳索未来—功率半导体与集成电路国际工程科技战略高端论坛”在无锡顺利召开,共有来自政产学研用各界的院士、专家、学者、嘉宾等300余人汇聚一堂,就功率半导体与集成电路领域的技术进步与创新所涉及的问题进行广泛而深入的探讨。中导光电设备股份有限公司董事长李波先生作为唯一的科技企业应邀嘉宾,带领部分骨干成员出席了本次论坛。
本次论坛由中国工程院、中国中车股份有限公司主办,无锡市人民政府、中国工程院机械与运载工程学部、中国工程科技发展战略江苏研究院、中车株洲所承办,包括中国工程院院士吴汉明、诺贝尔奖获得者康斯坦丁·诺沃肖洛夫、中导光电设备股份有限公司董事长李波先生等10名中外行业专家发表主旨演讲,启迪智慧,凝聚共识,为提升我国功率半导体与集成电路设计制造水平,推动产业发展把脉献策。
论坛上,李波董事长在会上做《半导体芯片制造缺陷检测技术及设备》在线主旨演讲,在演讲中,李波董事长提出光学检测技术及设备已经在国内外半导体检测设备市场占据绝对领导地位,其中前道检测设备国产化率几乎为零,国产替代空间巨大,国产检测设备前景广大,中导光电公司自研的45nm至60nm的NanoPro、MDI系列半导体晶圆片检测设备计划2023年开始陆续推向市场,介绍了检测设备在半导体芯片制造中的角色和作用、在前道芯片制造过程中的应用以及芯片缺陷检测面临的挑战,并分享了其团队在相关检测领域的研发能力及技术储备。现场的诸位院士专家、行业大咖思维碰撞,共同探讨功率半导体与集成电路前沿技术,共同谋划持续发展的愿景图景。